स्वच्छ खोल्यांच्या ऑपरेशनमध्ये आर्द्रता ही एक सामान्य पर्यावरणीय नियंत्रण स्थिती आहे. सेमीकंडक्टर स्वच्छ खोलीत सापेक्ष आर्द्रतेचे लक्ष्य मूल्य 30 ते 50% च्या श्रेणीत नियंत्रित केले जाते, ज्यामुळे त्रुटी ±1% च्या अरुंद श्रेणीत असू शकते, जसे की फोटोलिथोग्राफिक क्षेत्र - किंवा दूरच्या अल्ट्राव्हायोलेट प्रक्रिया (DUV) क्षेत्रात त्याहूनही लहान. - इतर ठिकाणी, तुम्ही ±5% च्या आत आराम करू शकता.
कारण सापेक्ष आर्द्रतेमध्ये अनेक घटक असतात जे स्वच्छ खोलीच्या एकूण कामगिरीवर परिणाम करू शकतात, ज्यात हे समाविष्ट आहे:
● जिवाणूंची वाढ;
● खोलीच्या तापमानात कर्मचाऱ्यांना वाटणाऱ्या आरामाची श्रेणी;
● स्थिर चार्ज दिसून येतो;
● धातूचा गंज;
● पाण्याच्या वाफेचे संक्षेपण;
● लिथोग्राफीचे ऱ्हास;
● पाणी शोषण.
६०% पेक्षा जास्त सापेक्ष आर्द्रता असलेल्या वातावरणात बॅक्टेरिया आणि इतर जैविक दूषित घटक (बुरशी, विषाणू, बुरशी, माइट्स) सक्रियपणे गुणाकार करू शकतात. ३०% पेक्षा जास्त सापेक्ष आर्द्रता असताना काही वनस्पती वाढू शकतात. ४०% ते ६०% च्या दरम्यान सापेक्ष आर्द्रता असताना, बॅक्टेरिया आणि श्वसन संसर्गाचे परिणाम कमी करता येतात.
४०% ते ६०% च्या श्रेणीतील सापेक्ष आर्द्रता ही देखील एक सामान्य श्रेणी आहे ज्यामध्ये मानवांना आरामदायी वाटते. जास्त आर्द्रता लोकांना नैराश्यात आणू शकते, तर ३०% पेक्षा कमी आर्द्रता लोकांना कोरडेपणा, फाटणे, श्वसनाचा त्रास आणि भावनिक अस्वस्थता जाणवू शकते.
उच्च आर्द्रता प्रत्यक्षात स्वच्छ खोलीच्या पृष्ठभागावर स्थिर चार्ज जमा होण्यास कमी करते - हा इच्छित परिणाम आहे. कमी आर्द्रता चार्ज जमा होण्यासाठी अधिक योग्य आहे आणि इलेक्ट्रोस्टॅटिक डिस्चार्जचा संभाव्य हानिकारक स्रोत आहे. जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 50% पेक्षा जास्त असते, तेव्हा स्थिर चार्ज वेगाने नष्ट होण्यास सुरुवात होते, परंतु जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 30% पेक्षा कमी असते, तेव्हा ते इन्सुलेटर किंवा जमिनीवर नसलेल्या पृष्ठभागावर बराच काळ टिकून राहू शकतात.
३५% आणि ४०% दरम्यान सापेक्ष आर्द्रता ही एक समाधानकारक तडजोड असू शकते आणि सेमीकंडक्टर क्लीनरूम सामान्यतः स्थिर चार्ज जमा होण्यास मर्यादित करण्यासाठी अतिरिक्त नियंत्रणे वापरतात.
सापेक्ष आर्द्रता वाढल्याने गंज प्रक्रियेसह अनेक रासायनिक अभिक्रियांचा वेग वाढेल. स्वच्छ खोलीच्या सभोवतालच्या हवेच्या संपर्कात येणारे सर्व पृष्ठभाग पाण्याच्या किमान एका मोनोलेयरने त्वरीत झाकले जातात. जेव्हा हे पृष्ठभाग पातळ धातूच्या आवरणाने बनलेले असतात जे पाण्याशी प्रतिक्रिया देऊ शकते, तेव्हा उच्च आर्द्रता अभिक्रियेला गती देऊ शकते. सुदैवाने, काही धातू, जसे की अॅल्युमिनियम, पाण्यासोबत संरक्षणात्मक ऑक्साइड तयार करू शकतात आणि पुढील ऑक्सिडेशन प्रतिक्रिया रोखू शकतात; परंतु दुसरे प्रकरण, जसे की कॉपर ऑक्साइड, संरक्षणात्मक नसते, म्हणून उच्च आर्द्रता असलेल्या वातावरणात, तांब्याचे पृष्ठभाग गंजण्यास अधिक संवेदनशील असतात.
याव्यतिरिक्त, उच्च सापेक्ष आर्द्रता असलेल्या वातावरणात, बेकिंग सायकलनंतर ओलावा शोषल्यामुळे फोटोरेझिस्टचा विस्तार होतो आणि तो वाढतो. जास्त सापेक्ष आर्द्रतेमुळे फोटोरेझिस्ट आसंजनावर देखील नकारात्मक परिणाम होऊ शकतो; कमी सापेक्ष आर्द्रता (सुमारे 30%) फोटोरेझिस्ट आसंजन सोपे करते, अगदी पॉलिमरिक मॉडिफायरची आवश्यकता नसतानाही.
अर्धवाहक स्वच्छ खोलीत सापेक्ष आर्द्रता नियंत्रित करणे मनमानी नाही. तथापि, काळ बदलत असताना, सामान्य, सामान्यतः स्वीकारल्या जाणाऱ्या पद्धतींची कारणे आणि पाया यांचा आढावा घेणे चांगले.
आपल्या मानवी आरामासाठी आर्द्रता विशेषतः लक्षात येण्यासारखी नसू शकते, परंतु त्याचा उत्पादन प्रक्रियेवर मोठा परिणाम होतो, विशेषतः जिथे आर्द्रता जास्त असते आणि आर्द्रता बहुतेकदा सर्वात वाईट नियंत्रण असते, म्हणूनच स्वच्छ खोलीच्या तापमान आणि आर्द्रता नियंत्रणात, आर्द्रतेला प्राधान्य दिले जाते.
पोस्ट वेळ: सप्टेंबर-०१-२०२०